Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Основные параметры и размеры
Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры
Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры
Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем
Единая система конструкторской документации. Правила выполнения вакуумных схем
Приборы и устройства пневматические для математических операций ГСП. Общие технические условия
Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний
Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры
Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции
Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции
Вакуумная техника. Термины и определения
Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Общие технические условия
ГСП. Преобразователи электропневматические аналоговые. Общие технические условия
Устройства регулирующие пневматические ГСП. Общие технические условия
Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы
Оборудование вакуумное. Соединительные части трубопровода. Установочные размеры
Оборудование вакуумное. Размеры фланцев