ГОСТ 25196-82
(СТ СЭВ 2760-80)
Группа Э71
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ. УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
Общие технические требования
Vacuum equipement. Apparatus for ion implantation. General technical requirement
ОКП 62 7335
Дата введения 1983-07-01
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 31 марта 1982 г. N 1383 срок действия установлен с 01.07.1983 г. до 01.07.1988 г.*
_______________
* Ограничение срока действия снято по протоколу Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 2, 1993 год). - Примечание изготовителя базы данных.
1. Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации (далее - установки), предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,660 57·10
до 217,534 67·10 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6·10
до 1,6·10
Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники.
Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2760-80.
2. Технические требования к установкам - по ГОСТ 24686-81.
3. Установки должны обеспечивать один из режимов обработки изделий:
поштучный;
групповой;
комбинированный.
4. Число пластин, обрабатываемых за один цикл на установке, должно быть кратным 25.
5. Предельное остаточное давление в установке должно быть не более 1,3·10
Па.
6. Минимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,01; 0,1; 1; 10; 100; 500; 1000 мкА.
7. Максимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,03; 0,1; 0,5; 1; 2; 5; 10 мА.
8. Неравномерность дозы имплантации следует выбирать из ряда: 0,5; 1; 2; 4%.
9. Показатели надежности установок следует определять наработкой на отказ, средним временем восстановления и средним ресурсом в соответствии с ГОСТ 24786-81.
Наработку на отказ следует выбирать из ряда: 100, 125, 160, 200, 250, 400, 500, 630, 800, 1000 ч.
Среднее время восстановления должно быть не более 4 ч.
Средний ресурс следует выбирать из ряда: 5000, 5600, 6300, 7100, 8000, 9000, 10000 ч.