Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования
Фотошаблоны печатных плат. Общие технические условия
Камеры неинжекционного типа для получения постоянной относительной влажности
Установка для финишной очистки воды типа УФ-400А. Требования к качеству аттестованной продукции
Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции
Термобарокамера типа КТХБ-К-0,025 - 65/155. Требования к качеству аттестованной продукции
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции