ГОСТ 9847-79
Группа П41
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
Типы и основные параметры
Optical instruments for surface roughness parameters measuring.
Basis parameters and types
ОКП 44 3160
Дата введения 1981-01-01
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
1. РАЗРАБОТЧИКИ:
А.Н.Кузнецов, А.А.Кучин
2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.79 N 3261
3. Срок проверки - 1995 г., периодичность - 5 лет
4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
Обозначение НТД, на который дана ссылка | Номер пункта |
ГОСТ 2789-73 | Вводная часть |
5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 N 551
6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3-87, 7-91)
Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее - приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров 
, 
и 
по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.
Требования к величине линейного поля зрения (табл.4, 5 и 6), а также требования пп.2.1, 2.2.1-2.2.3, 2.4.1-2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования - рекомендуемыми.
(Измененная редакция, Изм. N 2).
1. ТИПЫ
1. ТИПЫ
Типы приборов устанавливаются следующие:
ПТС - прибор теневого сечения;
ПСС - прибор светового сечения;
МИИ - микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;
МПИ - микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.
(Измененная редакция, Изм. N 1).
2. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл.1.
Таблица 1
Тип прибора | Параметр шероховатости | Пределы измерений |
ПТС |
| 40-320 мкм |
| 0,2-1,6 мм | |
ПСС |
| 0,5-40 мкм |
| 0,002-0,5 мм | |
МИИ |
| 0,05-0,8 мкм |
| 0,002-0,05 мм | |
МПИ |
| 0,05-0,8 мкм |
Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл.1.
(Измененная редакция, Изм. N 1).
2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл.2 и в пп.2.2.1-2.2.3.
Таблица 2
Диапазон измерения параметров | Линейное поле зрения, мм, | Увеличение объектива | Апертура объектива | Общее увеличение микроскопа, крат, не более |
От 40 до 320 | 8 | 1 | 0,03 | 32 |
0,05 | 32 | |||
От 10 до 40 | 2,5 | 4 | 0,1 | 80 |
0,12 | 60 | |||
0,15 | 60 | |||
От 4 до 10 | 0,8 | 10 | 0,2 | 200 |
0,3 | 160 | |||
От 1,6 до 4 | 0,8 | 12,5 | 0,4 | 260 |
0,45 | 200 | |||
От 0,5 до 1,6 | 0,25 | 32 | 0,5 | 750 |
0,6 | 520 |
Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.
2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.
2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.
2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.
2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. N 1).
2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл.5 и пп.2.4.1-2.4.3.
Таблица 5*
Диапазон измерения параметров | Линейное поле зрения, мм, не менее | Апертура объектива | Общее увеличение микроскопа, крат, |
От 0,1 до 0,8 | 0,25 | 0,3 | 400 |
0,5; 0,65 | 670 | ||
От 0,05 до 0,4 | 0,25 | 0,85; 0,95 | 1120 |
От 0,05 до 0,1 | 0,08 | 0,95; 1,25 | 2500 |
________________
* Нумерация соответствует оригиналу. - Примечание изготовителя базы данных.
2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения в направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от 0,05 до 0,1 мкм.
2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.
2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения - 2 нм.
2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл.6.
Таблица 6
Наименование параметра | Пределы измерения параметров | |
от 0,1 до 0,8 | от 0,05 до 0,5 | |
Апертура объектива, не менее | 0,5 | |
Линейное поле зрения, мм, не менее | 0,25 | |
Общее увеличение прибора, не менее | 300 | 500 |
Обратная линейная дисперсия диспергирующей системы для | 60 | 30 |
Предел разрешения диспергирующей системы для | 0,35 | 0,2 |
Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения | 5 | 3 |
Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более | 1 | |
, нм/мм, не более2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл.2, 3, 5, 6.
2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру 
на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл.7.
Таблица 7
Диапазон измерения параметра | Базо- | Предел допускаемой систематической составляющей погрешности, %, | Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности, %, для типов | Предел допускаемой суммарной погрешности среднего трех измерений, %, для типов |
ПТС, ПСС | ПТС, ПСС | ПТС, ПСС | ||
Св. 160 до 320 | 8 | 2,0 | 0,5 | 2,5 |
Св. 80 до 160 | 8 | 2,5 | 1,0 | 3,5 |
Св. 40 до 80 | 8 | 3,0 | 1,7 | 5,0 |
Св. 30 до 40 | 2,5 | 3,2 | 1,7 | 5,5 |
Св. 20 до 30 | 2,5 | 3,6 | 2,0 | 6,5 |
Св. 10 до 20 | 2,5 | 4,0 | 3,5 | 8,5 |
Св. 6,3 до 10 | 0,8 | 5,0 | 4,5 | 10,0 |
Св. 3,2 до 6,3 | 0,8 | 7,0 | 6,5 | 14,0 |
Св. 1,6 до 3,2 | 0,8 | 9,0 | 8,0 | 20,0 |
Св. 0,63 до 1,6 | 0,25 | 12,0 | 10,0 | 24,0 |
Св. 0,5 до 0,63 | 0,25 | 16,0 | 12,0 | 30,0 |
(Измененная редакция, Изм. N 1).
2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру , не должны превышать значений, указанных в табл.8.
Таблица 8
Тип прибора | Диапазон измерения параметров | Базо- | Апертура объектива | Предел допускаемой система- | Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности, | Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, % |
МИИ | Св. 0,4 до 0,8 | 0,25 | 0,3 | 20 | 5 | 24 |
От 0,5 до 0,65 | 14 | 5 | 18 | |||
От 0,85 до 0,95 | 10 | 5 | 15 | |||
МПИ | 0,5 | 14 | 5 | 18 | ||
МИИ | Св. 0,1 до 0,4 | 0,25 | От 0,5 до 0,65 | 30 | 10 | 40 |
От 0,85 до 1,25 | 20 | 10 | 30 | |||
МПИ | 0,5 | 18 | 10 | 30 | ||
МИИ | Св. 0,05 до 0,1 | 0,08 | От 0,95 до 1,25 | 30 | 20 | 50 |
МПИ | 0,5 | 10 | 20 | 35 |
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (Исключено, Изм. N 1).
ПРИЛОЖЕНИЕ 2 (справочное). ТЕРМИНЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В СТАНДАРТЕ, И ИХ ОПРЕДЕЛЕНИЯ
ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное
1. (Исключен, Изм. N 1).
2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС и ПСС - увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.