ГОСТ 8.367-79
Группа Т88.5*
__________________________________________
* В указателе "Национальные стандарты" 2007 г.
группа Т88.1. - Примечание изготовителя базы данных.
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕРЫ ДЛИНЫ КОНЦЕВЫЕ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ ОБРАЗЦОВЫЕ
1 И 2-го РАЗРЯДОВ И РАБОЧИЕ КЛАССОВ ТОЧНОСТИ 00 И 0 ДЛИНОЙ ДО 1000 мм
Методы и средства поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements
Reference gauge-blocks of the 1st and the 2nd accuracy orders and working gauge-blocks
of 00 and 0 accuracy classes up to 1000 mm. Methods and means for verification
Дата введения 1981-01-01
РАЗРАБОТАН Государственным комитетом СССР по стандартам
ИСПОЛНИТЕЛИ
Ю.П.Ефремов (руководитель темы); Е.И.Латышева
ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам
Член Госстандарта В.И.Кипаренко
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1979 г. N 4542
ВЗАМЕН Инструкции 96-65
Настоящий стандарт распространяется на плоскопараллельные концевые меры длины (далее - концевые меры) длиной до 1000 мм образцовые 1 и 2-го разрядов по ГОСТ 8.166-75, рабочие классов точности 00 и 0 по ГОСТ 9038-73 и рабочие класса точности 0 по ГОСТ 13581-68 и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.
1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
1.1. При проведении поверки концевых мер длины должны выполняться операции и применяться средства поверки, указанные в табл.1.
Таблица 1
| Наименование операции | Номер пункта настоящего стандарта | Средства поверки и их нормативно-технические характеристики | Обязательность проведения операции при | |
| | | выпуске из производства и ремонта | эксплуатации и хранении | |
| Внешний осмотр | 3.1 | Да | Да | |
| Проверка притираемости концевых мер | 3.2 | Плоские стеклянные пластины класса точности 1 по ГОСТ 2923-75 | Да | Да |
| Определение отклонения от плоскостности измерительных поверхностей концевых мер в свободном состоянии | 3.3 | Интерферометр Кестерса | Да | Нет |
| Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер: | ||||
| 1-го разряда до 100 мм | 3.4 | Интерферометр Кестерса (см. обязательное приложение 5); | Нет | Да |
| 1-го разряда длиной св. 100 мм | 3.5 | Горизонтальный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) или относительный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 15) и рабочие эталоны (плоскопараллельные концевые меры длины) по ГОСТ 8.020-75 | Нет | Да |
| 2-го разряда длиной до 100 мм | 3.6 | Концевые меры 1-го разряда по ГОСТ 8.166-75; | Нет | Да |
| 2-го разряда длиной св. 100 мм | 3.7 | Концевые меры длины 1-го разряда по ГОСТ 8.166-75; | Нет | Да |
| Определение отклонения от плоскопараллельности и отклонения длины от номинальной рабочих мер: | | |||
| класса точности 00 длиной до 100 мм | 3.4 | Интерферометр Кестерса (см. обязательное приложение 1), источник монохроматического излучения (см. обязательные приложения 2, 4, 6 или 8) | Да | Да |
| класса точности 00 длиной св. 100 мм | 3.5 | Горизонтальный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) или относительный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 11) и рабочие эталоны по ГОСТ 8.020-75 | Да | Да |
| класса точности 0 длиной до 100 мм | 3.6 | Концевые меры 1-го разряда длиной до 100 мм по ГОСТ 8.166-75; | Да | Да |
| класса точности 0 длиной св. 100 мм | 3.7 | Концевые меры 1 или 2-го разрядов длиной от 100 до 1000 мм по ГОСТ 8.166-75; | Да | Да |
1.2. Допускается применять другие вновь разработанные или находящиеся в применении средства поверки, прошедшие метрологическую аттестацию в органах государственной метрологической службы и удовлетворяющие по точности требованиям настоящего стандарта.
2. УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ПОДГОТОВКА К НЕЙ
2.1. При проведении поверки необходимо соблюдать условия, указанные в ГОСТ 8.166-75.
2.1.1. При поверке концевых мер абсолютным интерференционным методом их температура должна удовлетворять требованиям, указанным в табл.2; при поверке методом сравнения - в табл.3.
Таблица 2
| Номинальная длина концевых мер 1-го разряда, мм | Допускаемые отклонения температуры концевых мер от 20 °С, если ТКЛР* мер известен с погрешностью не более, °С | Допускаемые изменения температуры концевых мер | Длительность выдержки мер, не менее, ч | ||
| | ±1·10 | ±0,1·10 | около прибора | на измерительном столике прибора | |
| От 0,1 до 4,5 | 2 | 3 | 1 | 2 | 0,25 |
| 5 " 9,5 | 1 | 3 | 0,5 | 2 | 0,5 |
| 10 " 25 | 0,5 | 2 | 0,5 | 2 | 1,0 |
| 30 " 40 | 0,2 | 2 | 0,2 | 2 | 1,0 |
| 50 " 70 | 0,2 | 1 | 0,2 | 4 | 2 |
| 80 " 100 | 0,1 | 1 | 0,2 | 4 | 2 |
| 125 " 175 | 0,1 | 1 | 0,2 | 4 | 4 |
| 200 " 500 | 0,1 | 1 | 0,1 | 6 | 6 |
| 600 " 1000 | 0,1 | 0,5 | 0,1 | 8 | 8 |
________________
* ТКЛР - температурный коэффициент линейного расширения.
Таблица 3
| Номинальная длина концевых мер 2-го разряда, мм | Допускаемые отклонения температуры концевых мер от 20 °С, если ТКЛР мер известен с погрешностью не более, °С | Длительность выдержки мер рядом друг с другом, не менее, ч | ||
| | ±1·10 | ±0,1 ·10 | около прибора | на измерительном столике |
| От 0,1 до 4,5 | 2 | 4 | 1 | 0,25 |
| 5 " 9,5 | 1 | 4 | 1 | 0,25 |
| 10 " 25 | 0,5 | 3 | 1 | 0,4 |
| 30 " 40 | 0,2 | 3 | 1,5 | 0,5 |
| 50 " 70 | 0,2 | 2 | 1,5 | 0,5 |
| 80 " 100 | 0,2 | 2 | 2 | 1 |
| 125 " 175 | 0,1 | 1 | 2 | 2 |
| 200 " 500 | 0,1 | 1 | 3 | 2 |
| 600 " 1000 | 0,1 | 1 | 4 | 2 |
2.1.2. Относительная влажность воздуха в помещении не должна превышать 80%.
2.1.3. Необходимо предусмотреть возможность затемнения помещения.
2.1.4. При поверке образцовых мер 1 и 2-го разрядов абсолютным интерференционным методом погрешности измерения температуры мер 
, давления воздуха 
и его влажности 
не должны превышать значений, указанных в табл.4.
Таблица 4
| Номинальная длина концевых мер, мм | Допускаемая погрешность измерения | ||
| температуры меры | давления воздуха | влажности воздуха | |
| ± °С | ± Па (мм рт.ст.) | ||
| До 5 | 0,1 | 13,3 (0,1) | 133,3 (1,0) |
| " 100 | 0,01 | 13,3 (0,1) | 133,3 (1,0) |
| 100 " 1000 | 0,005 | 13,3 (0,1) | 133,3 (1,0) |
2.1.5. Для определения температуры воздуха и поверяемых концевых мер используют ртутные стеклянные термометры с ценой деления от 0,1 °С до 0,01 °С по ГОСТ 13646-68, а также платиновые термометры сопротивления в комплекте с термометрическими местами, медь-константановыми термопарами, переключателями направления термотока и гальванометрами или микровольтнаноамперметрами.
Температуру концевых мер длиной до 10 мм принимают равной температуре термометра, вставленного в столик измерительного прибора.
Схемы измерения температуры концевых мер с помощью стеклянного ртутного термометра с ценой деления 0,01 °С или с помощью платинового термометра сопротивления и медь-константановых термопар с гальванометром представлены на черт.1 и 2 справочного приложения 17.
2.1.6. Отсчитанное по барометру значение атмосферного давления необходимо привести к температуре 0 °С, географической широте 45° и к уровню моря.
Поправки для приведения показаний барометра к температуре 0 °С приведены в табл.1, к уровню моря - в табл.2, к широте 45° - в табл.3 обязательного приложения 13.
Для условий измерения поправки вычисляют, интерполируя данные таблиц обязательного приложения 13 (см. пример 1 обязательного приложения 15).
Для каждой поверочной лаборатории (для данной географической широты и высоты над уровнем моря) необходимо составить сводную таблицу поправок.
2.1.7. Влажность воздуха в мм рт.ст. вычисляют по показаниям сухого 
и влажного 
термометров аспирационного психрометра по ГОСТ 6353-52 по формуле:
, (1)
где 
- давление насыщенных паров воды в мм рт.ст. при температуре , °C.
Давление насыщенных паров воды при температурах от 8 до 30 °С приведено в обязательном приложении 14.
Пример вычисления влажности воздуха приведен в обязательном приложении 15 (пример 2).
2.2. Перед проведением поверки концевых мер длины должны быть выполнены следующие подготовительные работы.
2.2.1. После транспортирования концевые меры необходимо выдержать в помещении в их упаковке не менее 18 ч, после чего каждая мера должна быть распакована, освобождена от смазки, тщательно промыта авиационным бензином по ГОСТ 1012-72 и вытерта чистой сухой салфеткой из хлопчатобумажной ткани.
2.2.2. Вспомогательные пластины должны быть подготовлены, как указано в п.2.2.1.
Металлические пластины должны быть промыты авиационным бензином, стеклянные и кварцевые - этиловым спиртом по ГОСТ 18300-72*.
______________
* На территории Российской Федерации действует ГОСТ 18300-87. - Примечание изготовителя базы данных.
2.2.3. Подготовительные работы необходимо проводить в специальном помещении, имеющем вытяжной шкаф.
3. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ
3.1. Внешний осмотр
3.1.1. При проведении внешнего осмотра должно быть установлено соответствие концевых мер требованиям ГОСТ 9038-73 на комплектность наборов, маркировку мер и футляров.
3.1.2. На нерабочих поверхностях образцовых мер не должно быть следов коррозии.
3.1.3. На измерительных поверхностях концевых мер, находящихся в эксплуатации или выпускаемых из ремонта, допускается наличие незначительных дефектов, не влияющих на притираемость мер.
3.2. Проверка притираемости
3.2.1. Проверке на притираемость подвергают обе измерительные поверхности каждой концевой меры не ранее чем через 20-30 мин для мер длиной до 100 мм и через 1-2 ч для мер длиной св. 100 мм после подготовки мер и вспомогательных пластин к поверке.
Проверку усилия сдвига при притирании мер друг к другу производят в соответствии с требованиями ГОСТ 8.166-75.
3.2.2. Непосредственно перед притиранием измерительная поверхность концевой меры и рабочая поверхность вспомогательной пластины должны быть протерты чистой сухой салфеткой.
Рукой в тонкой перчатке или закрытой салфеткой концевую меру необходимо приложить поверяемой измерительной поверхностью к рабочей поверхности вспомогательной пластины, находящейся в другой руке.
Наблюдая поверхность концевой меры через пластину, слегка прижимают меру к пластине или пластину к мере, чтобы появились интерференционные полосы, расширяющиеся при дальнейшем сдавливании, и, наконец, исчезающие. При этом поверхности концевой меры и вспомогательной пластины должны прочно сцепиться между собой.
3.2.3. Если расширения и исчезновения полос не происходит или после сцепления поверхностей наблюдаются цветные или белые пятна, необходимо повторить очистку поверхностей более тщательно. С помощью лупы проводят внешний осмотр измерительных поверхностей, особенно в местах появления пятен, и при отсутствии заметных дефектов снова притирают меру к пластине.
Можно также сдвинуть меру на соседний участок поверхности пластины или притереть меру к другой пластине.
3.2.4. Притираемость образцовых концевых мер должна соответствовать требованиям ГОСТ 8.166-75, рабочих концевых мер - требованиям ГОСТ 9038-73 или ГОСТ 13581-68.
3.2.5. Перед определением срединной длины и отклонения от плоскопараллельности абсолютным интерференционным методом каждая концевая мера должна быть притерта посредине вспомогательной пластины.
При поверке методом сличения обе меры - поверяемая и образцовая (или эталонная) - должны быть притерты в середине пластины рядом, так, чтобы длинные ребра измерительных поверхностей мер были параллельны друг другу.
Меры, притертые к пластине, должны быть выдержаны вблизи интерферометра, а затем внутри его, на измерительном столике, в течение времени, указанного в табл.2 и 3.
3.2.6. При поверке концевых мер длиной свыше 100 мм на горизонтальном интерферометре ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) к ним должны притираться стальные вспомогательные пластины.
К концевым мерам, длина которых не кратна 100 мм, должны быть притерты вспомогательные меры известной длины, чтобы длина блока была кратна 100 мм.
3.3. Определение отклонения от плоскостности концевых мер в свободном состоянии.
3.3.1. Определение отклонения от плоскостности измерительных поверхностей концевых мер длиной св. 0,6 до 3 мм включительно в свободном состоянии должно проводиться на интерферометре Кестерса (см. обязательное приложение 1).
3.3.2. Концевую меру располагают на стеклянной пластине, установленной на предметном столике 18 (см. черт.1 или 2 обязательного приложения 1) так, чтобы она была видна в середине поля зрения интерферометра и длинное ребро измерительной поверхности было параллельно горизонтальной нити перекрестия зрительной трубы. Далее необходимо найти интерференционные полосы на поверхности концевой меры (см. пп.2 и 3 обязательного приложения 1).
3.3.3. Сначала полосы располагают в вертикальном направлении (черт.1, а) и производят отсчет максимальной стрелы прогиба полос в долях расстояния между ними (
). Затем полосы располагают в горизонтальном направлении (черт.1, б) и производят отсчет максимальной стрелы прогиба полос (
).
Черт.1
Отклонение от измерительной поверхности концевой меры 
подсчитывают по формуле
, (2)
где 
- длина волны используемого света;
- наибольший из отсчетов ( или ).
3.3.4. Наличие разнонаправленной кривизны (извернутости) обнаруживается либо по появлению точек перегиба на интерференционных полосах (черт.2), либо по появлению не менее двух линий или точек, в которые полосы стягиваются или из которых они расходятся при легком нажиме на зрительную трубу интерферометра (направление движения полос на черт.2 показано стрелками).
Черт.2
3.3.5. Отклонение от плоскостности поверхности в случае ее извернутости должно определяться по максимальному отклонению от плоскостности в той части меры, где кривизна поверхности односторонняя (см. черт.2).
3.3.6. Отклонение от плоскостности измерительной поверхности меры в свободном состоянии не должно превышать значений, указанных в ГОСТ 9038-73.
3.4. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонений длины от номинальной образцовых концевых мер 1-го разряда и рабочих мер класса точности 00 длиной до 100 мм.
3.4.1. Притертую к вспомогательной пластине и выдержанную согласно требованиям табл.2 концевую меру устанавливают на предметный столик 18 интерферометра Кестерса (черт.1 и 2 обязательного приложения 1). Указатель 10 устанавливают посредине меры (черт.1 обязательного приложения 1) или на номинальное значение ее длины по шкале А (черт.2 обязательного приложения 1).
К мерам длиной 10 мм и более присоединяют рабочий спай термопары.
3.4.2. С помощью регулировочных винтов необходимо добиться, чтобы направление интерференционных полос на поверхности пластины было вертикальным и чтобы на поверхности концевой меры было видно 3 или 5 полос.
Кроме того, добиваются, чтобы при легком нажатии рукой на зрительную трубу вниз или при движении вверх столика 9 (черт.1 и 2 обязательного приложения 1) интерференционные полосы в поле зрения перемещались слева направо. В этом случае порядок интерференции в направлении слева направо для полос, наблюдаемых на пластине, увеличивается, а для полос на концевой мере - уменьшается (черт.3, а).
Черт.3
3.4.3. Для меры с незначительным отклонением от плоскопараллельности интерференционные полосы на поверхности меры параллельны полосам на поверхности пластины и имеют такую же ширину (черт.3, б).
Для мер с отклонением от плоскопараллельности интерференционные полосы на поверхности меры по сравнению с полосами на поверхности пластины либо имеют различную ширину, либо наклонены к ним, либо искривлены. В общем случае наблюдаются различные сочетания (черт.3, в и 4), например, на черт.4, г полосы на мере искривлены и шире полос на пластине. Отклонение от плоскопараллельности 
определяется суммой отклонения от плоскопараллельности меры вдоль длинного 
и вдоль короткого ребра 
по формуле
. (3)
а - 
=3,75-3,0=0,75, 
=0; б - =0, =0,4; в - =0, =0,4;
г - =3,8-3,2=0,6, =0,3.
Черт.4
3.4.3.1. Для определения отклонения от плоскопараллельности вдоль длинного ребра концевой меры находят разность числа одновременно наблюдаемых полос между точками b и d на поверхности меры и пластины (черт.4, а) и определяют по формуле
, (4)
где - длина волны используемого света.
3.4.3.2. Для определения отклонения от плоскопараллельности вдоль короткого ребра концевой меры измеряют проекцию интерференционной полосы на мере на длинное ребро ее измерительной поверхности в единицах расстояния между полосами на пластине (черт.4, б) и определяют по формуле
. (4')
3.4.3.3. Отклонение от плоскопараллельности вдоль длинного ребра измерительной поверхности меры можно также определить, располагая интерференционные полосы на пластине горизонтально, параллельно длинному ребру, и измеряя , как проекцию интерференционной полосы на мере на ее короткое ребро в единицах расстояния между полосами на пластине (черт.5).
Черт.5
3.4.3.4. Точки а, b, d и е на черт.4, а должны быть расположены на расстоянии 1,5 мм от меньших боковых (нерабочих) граней и на расстоянии 1 мм - от больших боковых граней меры, точка с - в середине поверхности меры.
Примечание. В поле зрения интерферометра наблюдается зеркальное изображение поверхности меры.
3.4.4. Для определения срединной длины меры производят измерение дробных частей порядков интерференции 
для нескольких спектральных линий используемого источника света, температуры меры 
, давления , температуры и влажности воздуха, затем производят сравнение измеренных с вычисленными 
(выписанными из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 для номинальной длины меры) и вводят поправки на условия измерений, отличающиеся от нормальных
3.4.4.1. Одну из темных интерференционных полос на поверхности концевой меры располагают так, чтобы вертикальная линия перекрестия проходила через ее середину и середину измерительной поверхности меры.
Значение в этом случае - расстояние от темной полосы на пластине, первой слева от вертикальной линии перекрестия, до середины полосы на мере, выраженное в долях расстояния между соседними полосами на пластине (черт.3 б, в).
3.4.4.2. Определение проводят, например, переходя от красной области спектра к фиолетовой, а затем в обратном направлении - от фиолетовой к красной, и вычисляют среднее значение для каждой линии.
3.4.4.3. Для тех же спектральных линий и номинальной длины поверяемой меры из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 выписывают дробные части порядков интерференции и находят разности 
и 
для каждой линии. Если при этом уменьшаемое меньше вычитаемого, к уменьшаемому надо добавить единицу.
При малом отклонении срединной длины меры от номинального значения (0,3 мкм и менее) числа ряда 
, 
, 
,... (или 
, 
, 
, ...) возрастают от красной к фиолетовой спектральной линиям, так что произведения 
(или 
) одинаковы для всех спектральных линий. Допускаются отклонения в пределах ±0,02 мкм от среднего значения этих произведений.
При большем отклонении эти произведения неодинаковы, тогда необходимо подобрать такие целые числа 
, чтобы были одинаковыми с той же погрешностью произведения 
(или 
).
Как правило, 
=1; 2 или 3 и редко =4; 5 или 6.
Среднее из найденных таким образом (способом совпадения дробных частей порядков интерференции) произведений для нескольких спектральных линий определяет отклонение срединной длины меры в условиях измерения от ее номинальной длины
. (5)
Значение 
положительно, если совпадение найдено для ряда разностей 
, и отрицательно - для 
.
3.4.4.4. Значение 
можно также определять при помощи специальных линеек - номограмм, прилагаемых к интерферометру Кестерса. Внешний вид линейки для криптона показан на черт.6. Линейка имеет движок с визиром, шкалу, всю длину которой условно принимают равной 1 мкм (или 3 мкм), и шкалы для отдельных спектральных линий, показывающие число их полуволн, укладывающихся в той или иной длине от 0 до 1 мкм (или до 3 мкм). Числа 10, 20, 30 ... на черт.6, показывают сотые доли числа полуволн.
Черт.6
3.4.4.5. В результат измерения далее должна быть введена поправка 
на отличие длин волн в условиях измерения от их длин в нормальных условиях
, (6)
где , и - температура (°C), давление (мм рт.ст.) и влажность воздуха (мм рт.ст.).
Поправку можно определять также по специальной линейке, часть которой показана на черт.7.
Черт.7
При определении по формуле (6) или по линейке черт.7 температуру воздуха принимают равной температуре меры.
3.4.4.6. Для приведения результата измерений к нормальной температуре 20 °С должна быть введена поправка
, (7)
где 
- температурный коэффициент линейного расширения меры;
- номинальная длина концевой меры;
- температура концевой меры.
Примечания: 1. Значение ТКЛР для стальных мер по ГОСТ 9038-73 принимают равным 11,5·10
К
; для твердосплавных мер по ГОСТ 13581-68 - выбирают из выпускного аттестата (паспорта).
2. При необходимости значение ТКЛР мер с погрешностью до ±0,1·10 К может быть определено по результатам измерения их длины абсолютным интерференционным методом при различных температурах, отличающихся от 20 °С на ±5 °С (см. справочное приложение 20).
3.4.4.7. Кроме того, в результат измерения должны быть внесены поправки:
на размер входной щели интерферометра по формуле
, (8)
где 
и 
- длина и ширина щели;
- фокусное расстояние объектива коллиматора;
на разнородность измерительной поверхности меры и поверхности, притертой к ней вспомогательной пластины:
для пары сталь-стекло или сталь-кварц
=+0,02 мкм, (9)
для пар сталь-сталь и твердый сплав-стекло
=0. (9)*
________________
* Нумерация соответствует оригиналу. - Примечание изготовителя базы данных.
3.4.4.8. Отклонение действительной срединной длины меры при 20 °С от ее номинальной длины должно быть подсчитано по формуле
. (10)
Примеры расчетов 
и 
приведены в обязательном приложении 15 (примеры 3 и 4).
3.4.4.9. Определение срединной длины и отклонения от плоскопараллельности образцовых концевых мер 1-го разряда должно быть произведено независимо друг от друга двумя наблюдателями при каждой из двух притирок вспомогательной пластины сначала к одной, а затем к другой измерительной поверхности меры. За результат измерения принимают среднее арифметическое из 4 или более результатов, полученных обоими наблюдателями.
3.4.4.10. Расхождение между средними из результатов измерений каждого наблюдателя не должно превышать половины предела допускаемой погрешности измерений длины, установленного для образцовой меры 1-го разряда данной номинальной длины.
3.4.5. Определение срединной длины образцовых концевых мер 1-го разряда методом сравнения с рабочими эталонами производят таким же образом, как измерение длины образцовых концевых мер 2-го разряда методом сравнения с образцовыми концевыми мерами 1-го разряда (пп.3.6.2-3.6.6 и 3.7.2-3.7.8).
3.4.6. Отклонение длины концевой меры от номинального значения 
принимают равным сумме абсолютного значения отклонения срединной длины меры при 20 °С , определенного по (10), и половины отклонения концевой меры от плоскопараллельности , определенного по формуле (3)
.
Отклонения длины образцовых концевых мер не должны превышать значений, указанных в ГОСТ 9038-73 для мер класса точности 2.
3.5. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 1-го разряда длиной свыше 100 мм.
3.5.1. Определение срединной длины и отклонения от плоскопараллельности образцовых концевых мер 1-го разряда длиной свыше 100 мм производят на установке с горизонтальным интерферометром ВНИИМ (см. обязательное приложение 10).
3.5.2. Сначала отсчитывают температуру меры и эталона (см. справочное приложение 17), атмосферное давление, температуру и давление воздуха в помещении, устанавливают нуль по шкале микроманометра 8 (черт.3 обязательного приложения 10), закрывают кран 9 и, изменяя насосом 10 давление воздуха в эталоне, добиваются совмещения ахроматических полос двух систем полос, как показано на черт.2, в обязательного приложения 10.
Производят 3-4 совмещения ахроматических полос и отсчитывают 3-4 показания по шкале микроманометра 8.
Затем приводят давление внутри эталона к атмосферному, открывают кран 9 и отсчитывают смещение указателя с нуля шкалы.
Вычисляют среднее арифметическое 3-4 отсчетов, вносят в него поправку на смещение нуля и по графику градуировки микроманометра (см. справочное приложение 18) определяют изменение оптической длины эталона 
в мкм на 1 м длины.
Значение при уменьшении давления воздуха в эталоне отрицательно, при увеличении - положительно.
Снова производят отсчеты температуры концевой меры и интерферометра, температуры и давления воздуха и вычисляют их средние значения , 
, , .
3.5.3. Отклонение срединной длины концевой меры при 20 °С от ее номинальной длины в мкм вычисляют по формуле
, (11)
где 
- отклонение действительной длины интерферометра Фабри-Перо при 20 °С от номинальной длины 100 мм, мкм;
и 
- ТКЛР интерферометра и концевой меры, К;
- номинальная длина концевой меры, м.
3.5.4. Определение отклонения длины интерферометра Фабри-Перо при 20 °С от номинальной проводят как определение срединной длины концевых мер 1-го разряда длиной до 100 мм (пп.3.4.4.2-3.4.4.8) методом совпадения дробных частей порядков интерференции 
в центре интерференционных колец равного наклона. Поправку принимают равной нулю. Определение дробных частей порядков интерференции проводят либо фотографированием колец равного наклона, либо фотоэлектрической регистрацией их.
3.5.5. При фотографировании колец равного наклона входную щель интерферометра (см. черт.1 обязательного приложения 10) раздвигают по горизонтали до размера 5-6 мм, вводят откидное зеркало 13 и фокусируют изображение щели, вырезающей центральную часть концентрических интерференционных колец, на фотопленку 15.
Получив изображения колец в нескольких спектральных линиях, проводят измерение их диаметров с помощью компаратора типа ИЗА или измерительного микроскопа.
Значение определяют по формуле
, (12)
где - число измеренных диаметров, 
, 
, 
, 
.
Для =5: 
=30 и =1
0.
3.5.6. При определении в центре колец равного наклона при фотоэлектрической регистрации интерференционных полос щель 7 (черт.3 обязательного приложения 10) ограничивают до квадратной, размером 0,8х0,8 мм
, вместо кассеты с фотопленкой вставляют фотоэлектронный умножитель 1, на катод которого попадает изображение центра интерференционных колец. Кран 9 поворачивают в положение "фотоэлектрическая регистрация", включают усилитель постоянного тока 12-14, устанавливают указатель чувствительного усилителя 14 на 4·10
А/мм, а указатель скорости движения ленты самописца 13 - на 0,1 или 0,2 мм/с. Включают выпрямитель типа ВС-9 и устанавливают выходное напряжение, соответствующее нормальной работе ФЭУ; подают высокое напряжение на делитель ФЭУ, при этом стрелка показывающего прибора на передней панели 12 должна отклониться на 30-40 мм; при закрывании входной щели 7 стрелка должна отклониться не более чем на 5 мм; в противном случае уменьшают или увеличивают напряжение на делителе ФЭУ.
Устанавливают кран 16 микроманометра - датчика атмосферного давления 15 в положение "Атмосфера", при этом световой указатель его должен быть установлен на нуль шкалы так, чтобы часть света от него попадала на один из фотоэлементов в схеме усилителя типа Ф-16 (в этом случае включение осветителя микроманометра приводит к резкому отклонению стрелки прибора 12 в одну сторону, а выключение - в другую сторону). После этого переводят кран 16 в положение "Регистрация" и включают мотор 17 насоса 19.
Включают мотор лентопротяжного механизма самописца 14 и запись отклонения, для чего нажимают и поворачивают кнопку на панели блока 12. Через некоторое время автоматически произойдет переключение направления вращения электромотора 17 и давление начнет изменяться в другую сторону, при этом на ленте самописца будут регистрироваться интерференционные максимумы и минимумы. В момент, когда давление становится равным атмосферному, перо самописца сделает выброс-отметку. Через 5-8 мин направление вращения электромотора автоматически снова изменится на обратное, и снова будут регистрироваться интерференционные максимумы и минимумы, а в момент прохождения указателя микроманометра через нуль шкалы перо самописца сделает выброс-отметку (черт.8).
Черт.8
Значение определяют по положению отметок на регистрограмме относительно двух последовательных интерференционных максимумов и направлению изменения давления: при возрастании порядок интерференции 
увеличивается, при уменьшении давления - уменьшается:
,
где 
- расстояние от отметки до центра максимума ;
- расстояние между максимумами и 
.
Определение для каждой спектральной линии проводят и при увеличении давления, и при его уменьшении, а за результат принимают их среднее арифметическое.
3.5.7. Повторные измерения длины интерферометра Фабри-Перо допускается проводить при определении только для двух спектральных линий, например, зеленой и фиолетовой кадмия-114 или ртути-198.
3.5.8. Измерение отклонения от плоскопараллельности концевых мер на горизонтальном интерферометре ВНИИМ производят так же, как и на интерферометре Кестерса в пп.3.4.3.1-3.4.3.2.
При этом измерение разности длин концевой меры вдоль длинного и вдоль короткого ребра измерительной поверхности должно быть произведено дважды - при расположении меры на опорах сначала одной (
и 
), а затем другой своей узкой нерабочей поверхностью (
и 
).
В обоих положениях меры добиваются, чтобы полосы в поле зрения интерферометра на поверхности вспомогательной пластины были расположены горизонтально и чтобы обе системы полос, на пластине и на мере, двигались в одну и ту же сторону при одном и том же направлении движения относительного зеркала.
Отсчетам и приписывают, например, знак "+", если полосы на пластине шире полос на мере, и знак "-", если полосы на пластине уже полос на мере.
Отсчетам и приписывают знак "+", если полосы на мере наклонены в одну сторону, и знак "-", если они наклонены в другую сторону.
Тогда отклонение от плоскопараллельности меры определяют по формуле
. (13)
3.6. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной до 100 мм.
3.6.1. Определение длины и отклонений от плоскопараллельности образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих класса точности 0 длиной до 100 мм производят сравнением их с образцовыми концевыми мерами длины 1-го разряда с помощью интерферометра Кестерса (см. обязательное приложение 1) или двойного контактного интерферометра модели 272 (см. обязательное приложение 12).
3.6.2. На столике интерферометра Кестерса должны быть установлены притертые рядом друг с другом поверяемая (П) и исходная (И) концевые меры, выдержанные предварительно согласно требованиям табл.3, так, чтобы в поле зрения интерферометра поверяемая мера была видна над исходной.
Примечание. При притирании концевых мер длиной свыше 20 мм к вспомогательной пластине сначала притирают исходную меру и ставят ее на зеркало, а затем притирают поверяемую меру, наблюдая в зеркале изображение притираемой поверхности и контролируя качество притирки.
3.6.3. Корпус интерферометра (см. черт.1 обязательного приложения 1) или его столик (черт.2 обязательного приложения 1) перемещают так, чтобы указатель 10 располагался примерно посредине поверяемой меры. Соответствующими наклонами столика устанавливают вертикально интерференционные полосы, наблюдаемые на поверхности пластины, так, чтобы на измерительных поверхностях концевых мер было видно по 3-5 интерференционных полос, а при легком нажиме на зрительную трубу полосы двигались слева направо.
Интерференционные полосы на поверхностях сравниваемых мер могут быть непараллельны полосам на пластине (черт.9).
Черт.9
3.6.4. Определение отклонения от плоскопараллельности поверяемой концевой меры в этом случае проводят независимо от образцовой меры способом, приведенным в пп.3.4.3.1 и 3.4.3.2.
3.6.5. Совместив середину темной полосы на поверяемой концевой мере с вертикальной линией перекрестия, отсчитывают смещение вертикальной линии от середины темной полосы на исходной мере, первой слева от этой линии. За единицу принимают расстояние между полосами на исходной мере. Смещение отсчитывают для нескольких спектральных линий. Разность срединных длин сравниваемых мер 
определяют методом совпадения дробных частей порядков интерференции, как в пп.3.4.4.3 и 3.4.4.4, принимая 
, а 
вычисляя по формуле (5) или по линейке-номограмме. Дробные части порядков интерференции определяют по таблицам обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 для длины , равной разности номинальных длин мер.
При сравнении мер одинаковой номинальной длины =0 и совпадения ищут для рядов дробных или 
.
Срединная длина поверяемой меры 
будет равна
, (14)
где 
- срединная длина исходной меры;
- измеренная разность длин, положительная, когда совпадение найдено для 
, и отрицательная, если совпадение найдено для разностей 
.
Примеры измерения разности длин концевых мер приведены в обязательном приложении 15 (примеры 5 и 6).
3.6.6. Использование при сравнении длин мер только одной спектральной линии допускается при повторных поверках стабильных мер, когда ошибка в определении их длины на 
исключена. В этом случае используют желтую линию криптона или гелия.
Для удобства работы используют вспомогательную таблицу перевода в микрометры числа полуволн желтой линии криптона (=0,29355 мкм) или гелия (=0,29378 мкм), приведенную в обязательном приложении 16.
3.6.7. При определении срединной длины, отклонения от плоскопараллельности и отклонения длины от номинального значения образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 с помощью двойного контактного интерферометра поверяемую и исходную меры выдерживают согласно требованиям табл.3 вблизи прибора и затем на его столике. Подвижная часть контактного интерферометра должна быть закреплена на соответствующей высоте так, чтобы, установив исходную меру на столик 9 (черт.1 обязательного приложения 12) и опустив на ее поверхность наконечник 8, была возможность его перемещения в небольших пределах вверх и вниз. Наконечники 8 и 8' должны касаться меры в середине ее измерительных поверхностей.
Нулевые (ахроматические) полосы нижнего и верхнего контактных интерферометров должны быть установлены на нуль своих шкал (на экране 14 и в поле зрения трубы с объективом 12 и окуляром 16).
Приподняв наконечник 8, вместо образцовой меры устанавливают поверяемую, опускают наконечник и восстанавливают положение ахроматической полосы на экране 14.
Отсчет положения ахроматической полосы на шкале, наблюдаемой в окуляр 16, производят с погрешностью до десятых долей деления шкалы и, зная цену деления шкалы, находят разность срединных длин сравниваемых мер.
Определение разности срединных длин мер производят, повторив весь процесс измерения не менее трех раз, и за результат измерений принимают среднее арифметическое результатов всех измерений.
3.6.8. Таким же образом должна быть определена разность длин поверяемой концевой меры в точках a, b, d и е (черт.4, а), а затем подсчитана длина концевой меры в этих точках.
Наибольшую по абсолютному значению разность длин концевой меры в любых двух точках из пяти: а, b, с, d и е принимают равной отклонению от плоскопараллельности меры 
.
Наибольшую по абсолютному значению разность между номинальной длиной меры и ее длиной в точках а, b, с, d и е принимают равной отклонению длины концевой меры от номинальной .
Значения и определяют класс точности концевой меры по ГОСТ 9038-73 и ГОСТ 13581-68.
3.6.9. Поверку образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих класса точности 0 длиной до 100 мм допускается проводить также абсолютным интерференционным методом (пп.3.4.4.1-3.4.4.8). При этом определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной допускается проводить одному наблюдателю по одному измерению при каждой из двух притирок. Расхождение между результатами измерений при двух притирках не должно превышать половины предела допускаемой погрешности измерения длины концевых мер 2-го разряда данной длины.
3.7. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной свыше 100 мм.
3.7.1. Определение срединной длины, отклонения от плоскопараллельности и отклонения длины от номинального значения образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной свыше 100 мм проводят с помощью относительного интерферометра ВНИИМ (см. обязательное приложение 11) или оптико-механической машины типа ИЗМ, оснащенной трубкой контактного интерферометра типа ИКПВ или ИКПГ.
3.7.2. При определении разности срединных длин концевых мер с помощью относительного интерферометра ВНИИМ обе меры устанавливают на отдельные каретки на опоры, расположенные на расстоянии 0,211 от концов меры (точки Эри), сначала поверяемую меру помещают ближе к наблюдателю (положение I), затем - образцовую (положение II).
Окуляр 13 (черт.1 обязательного приложения 11) переключают в положение, при котором в поле зрения видны три пары изображений входной щели интерферометра (черт.10, а), одна пара из которых соответствует отражению света от измерительных поверхностей одной меры, вторая пара от измерительных поверхностей другой меры, третья, неподвижная, образована проходящим светом.
Черт.10
Подвижные изображения от правых и от левых измерительных поверхностей мер должны быть попарно совмещены с неподвижными изображениями (черт.10, б).
Затем окуляр 13 должен быть переключен в положение, при котором в поле зрения видны два изображения измерительных поверхностей мер. Вращая рукоятку механизма медленного перемещения одной из мер, добиваются появления интерференционных полос в белом свете на обеих поверхностях.
Поворотом барабана компенсатора 15 (черт.1 обязательного приложения 11) и рукоятки того же механизма перемещения совмещают ахроматические полосы обеих систем в середине измерительных поверхностей, на горизонтальной нити перекрестия (черт.2 обязательного приложения 11). Произведя 3-4 совмещения полос и отсчета по барабану компенсатора, вычисляют среднее арифметическое значение 
.
После этого концевые меры должны быть вынуты из прибора, а компенсатор поставлен в такое положение, при котором поле зрения прибора имеет вид темного, более или менее размытого, пятна или, если наблюдается система интерференционных полос, середина ахроматической полосы будет расположена на горизонтальной нити перекрестия. Среднее из 3-4 отсчетов по барабану в этом случае дает положение "нуля" 
компенсатора.
Разность длин сравниваемых мер будет равна 
, где - цена деления барабана компенсатора, которая должна быть определена заранее, например, согласно методике, изложенной в справочном приложении 19.
Так же определяют 
и в положении II:
и за окончательный результат принимают среднее арифметическое
.
3.7.3. Между результатами сравнения длин мер в положениях I и II допускается расхождение, не превышающее 
мкм, где - длина меры, м.
3.7.4. При определении отклонений от плоскопараллельности концевых мер на относительном интерферометре поверяемую меру устанавливают узкой нерабочей поверхностью на специальных опорах на ближайшей к наблюдателю каретке так, чтобы на каждую измерительную поверхность меры симметрично падали оба пучка света интерферометра. При этом мера "загораживает" чуть меньше половины каждого пучка. Совместив изображения входной щели (черт.10, б), в поле зрения можно будет наблюдать картину, состоящую из трех систем интерференционных полос: фона (Ф), на правой измерительной поверхности меры (П) и на левой (Л) (черт.11).
Черт.11
3.7.5. Отклонение от плоскопараллельности концевой меры вдоль короткого ребра 
определяют, не обращая внимания на полосы фона (Ф). Поворотом меры с помощью регулировочных винтов, выведенных наружу, добиваются, чтобы полосы картины Л были параллельны горизонтальной нити окуляра (черт.11, а). Вращая барабан компенсатора, ахроматическую полосу Л 3-4 раза приводят к совмещению с горизонтальной нитью, производят отсчеты, вычисляют среднее арифметическое 
. Затем, вращая барабан компенсатора, ахроматическую полосу картины П приводят к горизонтальной нити, к точке пересечения нити и края меры (черт.11, б) и также производят 3-4 отсчета и вычисляют среднее арифметическое 
. Далее меру поворачивают на 180° вокруг продольной оси и таким же образом определяют среднее арифметическое 3-4 отсчетов 
и 
.
Отклонение меры от плоскопараллельности вдоль короткого ребра определяют по формуле
. (15)
3.7.6. При определении отклонения от параллельности концевой меры вдоль длинного ребра 
мера должна быть установлена на две другие опоры плашмя, чтобы на каждую измерительную поверхность симметрично падали оба пучка света интерферометра.
Поворачивая меру сначала от руки грубо, а затем винтами поворота, добиваются появления интерференционных полос в поле зрения (черт.12, а).
Черт.12
Как и в п.3.7.5 устанавливают полосы Л параллельно горизонтальной нити окуляра; вращая барабан компенсатора, совмещают ахроматическую полосу Л с этой нитью, производят 3-4 отсчета и вычисляют их среднее арифметическое 
. Совместив с горизонтальной нитью и краем меры ахроматическую полосу правой картины П, производят 3-4 отсчета и вычисляют среднее арифметическое 
, (черт.12, б).
Повернув меру на 180° вокруг продольной оси и повторив операции, вычисляют среднее арифметическое 3-4 отсчетов 
и 
.
Так как расстояние между крайними точками пучков составляет примерно 
длины ребра, вдоль которого измеряется отклонение от плоскопараллельности, значение определяют по формуле
. (16)
Общее отклонение от плоскопараллельности равно сумме и .
3.7.7. При определении отклонений от плоскопараллельности, срединной длины и отклонений длины от номинальной образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной свыше 100 мм на оптико-механической машине типа ИЗМ с трубкой контактного интерферометра поверяемую и образцовую меры устанавливают на их узкие нерабочие поверхности в точках Эри на люнеты с цилиндрическими опорными поверхностями или на предметном столе - для мер до 500 мм.
Перед установкой мер на люнеты или на стол пинольная бабка должна быть передвинута влево на расстояние, позволяющее установить меры так, чтобы они не касались наконечников контактного интерферометра и пиноли.
Концевые меры устанавливают так, чтобы их измерительные поверхности находились примерно в одной плоскости.
После соответствующей выдержки мер (согласно требованиям табл.3) перемещают бабку с пинолью до соприкосновения наконечника пиноли с измерительной поверхностью исходной меры; освобождают стопорный винт измерительной бабки и осторожно перемещают бабку до соприкосновения наконечника интерференционной трубки с другой измерительной поверхностью образцовой меры, т.е. до начала движения шкалы в поле зрения интерференционной трубки; закрепляют стопорный винт измерительной бабки и микроподачей перемещают бабку так, чтобы ахроматическая полоса в поле зрения трубки располагалась в пределах ±10 делений шкалы; легкими перемещениями меры в горизонтальном и вертикальном направлениях добиваются минимального показания на шкале интерференционной трубки, после чего микровинтом пиноли или измерительной бабки ахроматическую полосу в поле зрения трубки устанавливают на нуль шкалы; арретиром отводят 2-3 раза наконечник измерительной трубки и убеждаются, что нулевой отсчет в пределах ±0,2 деления шкалы остается постоянным (
).
Далее отводят арретиром наконечник трубки интерферометра и осторожно перемещают в поперечном направлении стол с установленными на нем концевыми мерами так, чтобы наконечники оказались против середин измерительных поверхностей поверяемой меры.
Затем, покачивая меру в горизонтальном и вертикальном направлениях, находят минимальное показание по шкале трубки интерферометра.
Зная цену деления шкалы интерферометра , определяют разность срединных длин поверяемой и образцовой мер: 
.