ГОСТ 9847-79
Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры

ГОСТ 9847-79

Группа П41

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР


ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
 ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Типы и основные параметры

Optical instruments for surface roughness parameters measuring.
Basis parameters and types


ОКП 44 3160

Дата введения 1981-01-01

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТЧИКИ:

А.Н.Кузнецов, А.А.Кучин

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.79 N 3261

3. Срок проверки - 1995 г., периодичность - 5 лет

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Обозначение НТД, на который дана ссылка

Номер пункта

ГОСТ 2789-73

Вводная часть


5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 N 551

6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3-87, 7-91)


Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее - приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2) и ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2) по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.

Требования к величине линейного поля зрения (табл.4, 5 и 6), а также требования пп.2.1, 2.2.1-2.2.3, 2.4.1-2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования - рекомендуемыми.

(Измененная редакция, Изм. N 2).

1. ТИПЫ

1. ТИПЫ

Типы приборов устанавливаются следующие:

ПТС - прибор теневого сечения;

ПСС - прибор светового сечения;

МИИ - микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;

МПИ - микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл.1.

Таблица 1

Тип прибора

Параметр шероховатости

Пределы измерений

ПТС

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2)

40-320 мкм

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2)

0,2-1,6 мм

ПСС

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2)

0,5-40 мкм

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2)

0,002-0,5 мм

МИИ

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2)

0,05-0,8 мкм

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2)

0,002-0,05 мм

МПИ

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2)

0,05-0,8 мкм


Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл.1.


(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл.2 и в пп.2.2.1-2.2.3.

Таблица 2

Диапазон измерения параметров
ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2) и ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), мкм

Линейное поле зрения, мм,
не менее

Увеличение объектива
с дополнительной линзой, крат, не менее

Апертура объектива

Общее увеличение микроскопа, крат, не более

От 40 до 320

8

1

0,03

32

0,05

32

От 10 до 40

2,5

4

0,1

80

0,12

60

0,15

60

От 4 до 10

0,8

10

0,2

200

0,3

160

От 1,6 до 4

0,8

12,5

0,4

260

0,45

200

От 0,5 до 1,6

0,25

32

0,5

750

0,6

520



Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.

2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.

2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.

2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.

2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. N 1).

2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл.5 и пп.2.4.1-2.4.3.

Таблица 5*

Диапазон измерения параметров ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2) и ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), мкм

Линейное поле зрения, мм, не менее

Апертура объектива

Общее увеличение микроскопа, крат,
не более

От 0,1 до 0,8

0,25

0,3

400

0,5; 0,65

670

От 0,05 до 0,4

0,25

0,85; 0,95

1120

От 0,05 до 0,1

0,08

0,95; 1,25

2500

________________
* Нумерация соответствует оригиналу. - Примечание изготовителя базы данных.

2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения в направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от 0,05 до 0,1 мкм.

2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.

2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения - 2 нм.

2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл.6.

Таблица 6

Наименование параметра

Пределы измерения параметров ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2) и ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), мкм

от 0,1 до 0,8

от 0,05 до 0,5

Апертура объектива, не менее

0,5

Линейное поле зрения, мм, не менее

0,25

Общее увеличение прибора, не менее

300

500

Обратная линейная дисперсия диспергирующей системы для ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), нм/мм, не более

60

30

Предел разрешения диспергирующей системы для ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), нм, не более

0,35

0,2

Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения

5

3

Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более

1


2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл.2, 3, 5, 6.

2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2) на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл.7.

Таблица 7

Диапазон измерения параметра
ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), мкм

Базо-
вая длина, мм

Предел допускаемой систематической составляющей погрешности, %,
для типов

Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности, %, для типов

Предел допускаемой суммарной погрешности среднего трех измерений, %, для типов

ПТС, ПСС

ПТС, ПСС

ПТС, ПСС

Св. 160 до 320

8

2,0

0,5

2,5

Св. 80 до 160

8

2,5

1,0

3,5

Св. 40 до 80

8

3,0

1,7

5,0

Св. 30 до 40

2,5

3,2

1,7

5,5

Св. 20 до 30

2,5

3,6

2,0

6,5

Св. 10 до 20

2,5

4,0

3,5

8,5

Св. 6,3 до 10

0,8

5,0

4,5

10,0

Св. 3,2 до 6,3

0,8

7,0

6,5

14,0

Св. 1,6 до 3,2

0,8

9,0

8,0

20,0

Св. 0,63 до 1,6

0,25

12,0

10,0

24,0

Св. 0,5 до 0,63

0,25

16,0

12,0

30,0



(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), не должны превышать значений, указанных в табл.8.

Таблица 8

Тип прибора

Диапазон измерения параметров ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры (с Изменениями N 1, 2), мкм

Базо-
вая длина, мм

Апертура объектива

Предел допускаемой система-
тической погрешности, %

Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности,
%

Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, %

МИИ

Св. 0,4 до 0,8

0,25

0,3

20

5

24

От 0,5 до 0,65

14

5

18

От 0,85 до 0,95

10

5

15

МПИ

0,5

14

5

18

МИИ

Св. 0,1 до 0,4

0,25

От 0,5 до 0,65

30

10

40

От 0,85 до 1,25

20

10

30

МПИ

0,5

18

10

30

МИИ

Св. 0,05 до 0,1

0,08

От 0,95 до 1,25

30

20

50

МПИ

0,5

10

20

35



ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (Исключено, Изм. N 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 (справочное). ТЕРМИНЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В СТАНДАРТЕ, И ИХ ОПРЕДЕЛЕНИЯ

ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное

1. (Исключен, Изм. N 1).

2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС и ПСС - увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.



Последние документы

Copyright © 2018