ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

ГОСТ 26239.8-84
Группа В59

     
     
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ И ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ

Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination



ОКСТУ 1709

Дата введения 1986-01-01

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2491* срок действия установлен с 01.01.86 до 01.01.91**
______________
* См. ярлык "Примечания";
** Ограничение срока действия снято по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.

ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1848

Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 10, 1990 год


Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана от 0,02 до 10%, трихлорсилана от 0,02 до 100% и тетрахлорида кремния от 0,02 до 100%, в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом.

Метод основан на хроматографическом разделении компонентов в изотермическом режиме с последующим детектированием по теплопроводности и расчетом массовых долей определяемых компонентов по площадям хроматографических пиков с учетом коэффициентов относительной чувствительности детектора к определяемым компонентам.

1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Общие требования к методу анализа - по ГОСТ 26239.0-84.

2. АППАРАТУРА, МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ


Хроматограф ЛХМ-8МД с детектором по теплопроводности, регистрирующим устройством, блоком осушки газа-носителя, шприцевой системой ввода образцов.

Хроматографические колонки стеклянные или металлические длиной 4 м, диаметром 2-4 мм.

Электронный интегратор И-02.

Ловушка стеклянная (черт.1) с гидроокисью калия, ч.д.а., таблетированной.

Форвакуумный насос ВН 461М.

Сушильный шкаф вакуумный на температуру до 200 °С

Стаканы стеклянные вместимостью 200 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1).

Чашки фарфоровые диаметром 50 мм.

Воронка стеклянная с отростком диаметром 2-4 мм.

Весы аналитические.

Секундомер по ГОСТ 5072-79*.
______________
* На территории Российской Федерации документ не действует. За дополнительной информацией обратитесь по ссылке. - Примечание изготовителя базы данных.

Шприцы хроматографические со шкалой 0-10 мкл.

Бюксы стеклянные по ГОСТ 25336-82 на 5-10 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1).

Стеклоткань.

Трубка фторопластовая диаметром 5 мм.

Пробоотборник стеклянный вместимостью 50-100 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) с фторопластовым краном (черт.2).

Черт.1. Стеклянная ловушка

Стеклянная ловушка

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)


1 - вход газа-носителя; 2 - решетка; 3 - выход газа-носителя


Черт.1


Черт.2. Пробоотборник

Пробоотборник

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)


1 - фторопластовый кран; 2 - наружная полость крана; 3 - стеклянная емкость


Черт.2



Пипетки стеклянные вместимостью 10-20 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1).

Носители твердые силанизированные: хроматон N-AW, сферохром-2, цветохром 1 КДМДХС, фракции зернением 0,250-0,315 мм.

Неподвижная фаза - полиметилсилоксановый каучук SE-30.

Трихлорсилан очищенный с массовой долей примесей не более 0,01%.

Тетрахлорид кремния очищенный с массовой долей примесей не более 0,01%.

Спирт этиловый ректификованный технический по ГОСТ 18300-87.


Ацетон по ГОСТ 2603-79.

Эфир диэтиловый х.ч.

Газ-носитель - гелий газообразный в.ч.

Азот жидкий по ГОСТ 9293-74.

Хлороформ медицинский по ГОСТ 20015-74*.
______________
* На территории Российской Федерации документ не действует. Действует ГОСТ 20015-88. - Примечание изготовителя базы данных.


Ангидрон.

Фосфор пятиокись.

Цеолит Na5X.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

3. ПОДГОТОВКА К АНАЛИЗУ

3.1. Приготовление сорбента и заполнение хроматографических колонок

Твердый носитель - хроматон N-AW, сферохром-2 или цветохром 1 КДМДХС - просушивают в сушильном шкафу при 120-130 °С в течение 5-6 ч. Высушенный носитель (~100 г) взвешивают в фарфоровой чашке с погрешностью не более 0,01 г.

Неподвижную фазу в количестве 10% от массы твердого носителя взвешивают в стакане с погрешностью не более 0,01 г и растворяют в хлороформе (10 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) на 1 г неподвижной фазы).

Заливают твердый носитель в фарфоровой чашке раствором неподвижной фазы в хлороформе и тщательно перемешивают. Затем растворитель испаряют при непрерывном перемешивании, нагревая при 50 °С на закрытой электроплитке в вытяжном шкафу.

Хроматографические колонки перед заполнением прочищают ватным тампоном на проволоке и промывают последовательно ацетоном, этиловым спиртом и диэтиловым эфиром. По окончании промывки колонку сушат при 100-120 °С при продувке газом-носителем в течение 30 мин.

Один конец чистой высушенной колонки закрывают тампоном из стеклоткани и соединяют вакуумным шлангом ПХВ с линией форвакуумной откачки. Через другой конец производят заполнение колонки сорбентом с помощью воронки при непрерывной откачке и легкой вибрации колонки. Следует заполнять колонку до уровня на 3-5 мм ниже торца. По окончании заполнения второй конец колонки также закрывают тампоном из стеклоткани. Качество заполнения стеклянных колонок проверяют визуально. При наличии пустот их устраняют легким встряхиванием колонки. Металлические колонки заполняют дозированным по объему количеством сорбента.

Заполненную колонку устанавливают в термостат хроматографа и кондиционируют - продувают сухим газом-носителем в течение 5-6 ч при 250 °С. Нагрев до 250 °С проводят со скоростью 10-15 °С/мин.

Для сушки газа-носителя на линии подачи газа устанавливаются две колонки: первая по ходу газа-носителя заполняется ангидроном, вторая - пятиокисью фосфора в смеси с цеолитом Na5X (10% пятиокиси фосфора от массы цеолита). Кондиционированную колонку подсоединяют к детектору.

3.2. Приготовление градуировочной смеси

Приготовление градуировочной смеси проводится смешиванием компонентов в пробоотборнике.

Градуировочная смесь содержит трихлорсилан и тетрахлорид кремния, массовая доля трихлорсилана в смеси составляет около 20%, тетрахлорида кремния - около 80%.

Взвешивают пробоотборник на аналитических весах. Заливают в пробоотборник 20 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) чистого тетрахлорида кремния. Откачивают форвакуумным насосом наружную полость крана для удаления избытка тетрахлорида кремния. Взвешивают пробоотборник с тетрахлоридом кремния на аналитических весах и по разности масс определяют количество введенного в пробоотборник тетрахлорида кремния (ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)) в граммах. Вводят в пробоотборник 5 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) трихлорсилана и также весовым методом определяют его количество (ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)) в граммах. Массовые доли компонентов (ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)) в процентах вычисляют по формуле

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1),


где ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) - масса ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)-го компонента в смеси, г.

Градуировочную смесь хранят в пробоотборнике, не допуская длительного контакта смеси с атмосферой.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

3.3. Определение коэффициентов относительной чувствительности

Определение коэффициентов относительной чувствительности производится по хроматограмме градуировочной смеси.

Включают хроматограф и выводят хроматограф на рабочий режим в соответствии с инструкцией по эксплуатации прибора.

Рабочий режим хроматографа:

Параметр

Номинальное значение

Ток детектора

90-100 мА

Температура термостата детектора

120-130 °С

Температура колонки

60 °С

Температура испарителя

120 °С

Объемная скорость газа-носителя (гелия)

20-40 смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)/мин

Скорость ленты потенциометра

600 мм/ч.


Время выхода прибора на режим - 2 ч. После выхода на режим перед началом работы проводят тренировку колонки посредством 7-10-кратного введения дозы градуировочной смеси объемом 2·10ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) смГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1).

Введение доз осуществляется с помощью шприца.

В колонку готового к работе прибора с помощью шприца вводят 1 мкл градуировочной смеси и регистрируют хроматограмму.

Идентификацию пиков хроматограммы проводят по порядку выхода компонентов. В принятых условиях анализа первым из колонки элюируется трихлорсилан, затем - тетрахлорид кремния.

Площади хроматографических пиков (ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)) трихлорсилана и тетрахлорида кремния в вольтах на секунду определяют с помощью электронного интегратора.

Коэффициент относительной чувствительности для трихлорсилана (ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)) по тетрахлориду кремния вычисляют по формуле

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1),


где ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) - массовые доли трихлорсилана и тетрахлорида кремния в градуировочной смеси, %;

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) - площади хроматографических пиков трихлорсилана и тетрахлорида кремния на хроматограмме градуировочной смеси, В/с.

Процедуру снятия хроматограммы градуировочной смеси, определения площадей хроматографических пиков и расчета ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) повторяют трижды. Затем вычисляют среднее арифметическое результатов трех определений ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1).

Допустимое расхождение крайних значений ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) составляет 3%. В случае больших расхождений определение коэффициента относительной чувствительности следует провести заново.

Коэффициент относительной чувствительности для дихлорсилана по тетрахлориду кремния ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) вычисляют по формуле

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1).

3.4. Подготовка анализируемой пробы.

Пробоотборник откачивают до остаточного давления 10ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) тор (13 Па). К откаченному пробоотборнику присоединяют фторопластовую трубочку диаметром 5 мм. Свободный конец трубочки погружают в емкость с пробой и открывают кран пробоотборника. Проба засасывается в пробоотборник. Закрывают кран и откачивают наружную полость крана пробоотборника форвакуумным насосом для удаления избытка пробы. Отобранную пробу переливают в бюкс.

4. ПРОВЕДЕНИЕ АНАЛИЗА


Рабочий режим хроматографа при проведении анализа должен быть идентичен режиму, установленному при регистрации хроматограмм градуировочной смеси для расчета коэффициентов относительной чувствительности. Параметры режима приведены в п.3.3.

Перед началом анализа проводят тренировку колонки хроматографа посредством 7-10-кратного введения доз пробы объемом 5 мкл. Дозирование производится с помощью шприца.

Дозирование пробы при анализах производится с помощью шприца. Объем вводимой шприцем дозы должен составлять 5-10 мкл.

Регистрацию пиков хроматограммы проводят в положении аттенюатора, обеспечивающем нахождение максимума пика в оптимальном интервале шкалы потенциометра. Площади хроматографических пиков (ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)) всех компонентов пробы определяют с помощью электронного интегратора.

Запись хроматограммы и определение значений ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) всех компонентов повторяют трижды.

5. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ

5.1. Идентификация компонентов пробы проводится по порядку выхода и по относительным удерживаемым объемам, указанным в табл.1.

Таблица 1

Компонент

Относительный удерживаемый объем

Дихлорсилан

0,71

Трихлорсилан

1,0

Тетрахлорид кремния

2,31


5.2. Массовые доли компонентов в пробе (ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)) в процентах вычисляют по формуле

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1),


где ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) - коэффициент относительной чувствительности для ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)-го компонента по тетрахлориду кремния;

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) - площадь хроматографического пика ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)-го компонента, В/с;

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1) - число компонентов в пробе.

За результат анализа принимают среднее арифметическое результатов трех параллельных определений.

5.3. Разность между наибольшим и наименьшим из результатов трех параллельных определений с доверительной вероятностью ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)0,95 не должна превышать значений абсолютных допускаемых расхождений трех результатов параллельных определений, указанных в табл.2.

Таблица 2

Компонент

Массовая доля компонента, %

Абсолютное допускаемое расхождение, %

Дихлорсилан

0,02

0,02


0,1

0,03


0,5

0,09


1,0

0,13


5,0

0,3


10,0

0,8

Трихлорисилан

0,02

0,01


0,1

0,02


1,0

0,12


5,0

0,2


10

0,3


50

1,8


100

2,6

Тетрахлорид кремния

0,02

0,01


0,1

0,01


0,5

0,05


5,0

0,2


10

0,5


30

0,8


50

1,2


100

1,9


5.4. Правильность результатов анализа контролируют по синтетическим смесям. Для этого по п.3.2 готовят две смеси состава, близкого к приведенным в табл.3.

Таблица 3

Номер смеси

Массовая доля компонента в смеси, %

трихлорсилан

тетрахлорид кремния

1

20

80

2

5,0

95,0



Определяют коэффициент относительной чувствительности для трихлорсилана по тетрахлориду кремния по п.3.3 с использованием смеси 1. Затем по разд.4 проводят анализ смеси 2 и по разд.5 вычисляют содержание в ней трихлорсилана и тетрахлорида кремния, используя при расчете коэффициент относительной чувствительности, полученный на смеси 1.

Анализ считается правильным, если абсолютная величина разности между результатами определения и массовой долей компонентов в смеси 2 с доверительной вероятностью ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)0,95 не превышает 0,1% для трихлорсилана и 0,7% для тетрахлорида кремния.



Copyright © 2019